良率超 50%,全球第三大硅晶圆厂环球晶明年试产 8 英寸 SiC
发布时间:2023-10-27 12:29:14来源:
10 月 27 日消息,全球第三大硅晶圆生产商环球晶圆控股(GlobalWafers)董事长徐秀兰表现,公司战胜了量产碳化硅(SiC)晶圆的重重技术难关,已经将 SiC 晶圆推动至 8 英寸,和国际大厂坚持同步。
从报道中获悉,徐秀兰表现客户都希望环球晶圆教书从 6 英寸到 8 英寸 SiC 量产的过渡,重要客户来自汽车领域。
环球晶圆设计并开发了专门的碳化硅晶体生长炉(Crystal Growth Furnace),加强了资料质量节制并降低了晶体生长成本。
SiC 的高硬度和脆性使得晶圆加工具有挑衅性,但环球晶圆采取更高的工艺精度和更高效的晶圆处置方式,从而实现超薄 SiC 晶圆加工。
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